Ciśnieniowa pompa mieszkowa z silnikiem krokowym
ZX2-LDA41 OMRON ZX2-LD100L mikrometr laserowy 5um
ZCR-6902PKN-ZCR SBB Tech Co. Ltd. Łożysko ceramiczne
HC-SFS152B MITSUBISHI serwomotor 1,5kW przekładnia
E6C3-AG5C OMRON Enkoder absolutny 1024 9bit
AEVA1251 Panasonic Stycznik mocy prądu stałego 250A 500V Cewka 12V
Kwarcowy wziernik próżniowy wizjer komory 46x16cm
D638E128 MOOG hydrauliczny zawór proporcjonalny
ANW1Z000 FUJIKIN Zawór membranowy sterowany
PFM750S-C8L-B SMC miernik przepływu gazu 1-50l/min