Próżniowy przepust elektryczny 6 torów ISO K DN100
23E-6003A American Precision silnik krokowy
BILZ BiAir 0,25ED izolator wibracji z zaworem PVM
KBM-05 Light Star przekładnik prądowy 1200A
FAG86J1254J Kondensator snubberowy 1,25uF 1300V
PFM750S-C8L-B SMC miernik przepływu gazu 1-50l/min
HC-SFS152B MITSUBISHI serwomotor 1,5kW przekładnia
8711 3,0 Nl/min 0-10V WITT GASS MFC Masowy kontroler przepływu tlenu
36442-6-002 HAYDON krokowy aktuator liniowy
MR-J2S-40B MITSUBISHI serwowzmacniacz 4000W CNC