ASL1600-20 Sensirion Masowy kontroler przepływu
Kwarcowy wziernik próżniowy wizjer komory 46x16cm
PFW740-F04-67N-Q SMC Przetwornik przepływu wody
STK-22-TOR-S SAFECT przełącznik z kluczem blokada
74R130-P114-H200X GAST Kompresor czystego gazu
FZ3-755-001 OMRON Komputer systemu wizyjnego
Zasilacz wysokiego napięcia HV10-152M 1kV 1.5mA DC
FAG86J1254J Kondensator snubberowy 1,25uF 1300V
TP-488Pt100 CZAKI Thermo Czujnik temperatury Pt100
SEC-E80 Masowy kontroler przepływu MFC HORIBA STEC