23E-6003A American Precision silnik krokowy
MW1560-1 WICC Ltd. Przekładnik prądowy 2600:1A
43F4B-05-104 HAYDON Switch aktuator silnik krokowy
AEVA1251 Panasonic Stycznik mocy prądu stałego 250A 500V Cewka 12V
ZR110S3-K15MZ x2 SMC eżektor generator podciśnień
RA2450-D06 CARLO GAVAZZI Stycznik SSR 50A radiator
Kwarcowy wziernik próżniowy wizjer komory 46x16cm
CB-023N ITOH DENKI kontroler silnika
8711 3,0 Nl/min 0-10V WITT GASS MFC Masowy kontroler przepływu tlenu
C40HF-50PB-1 Samwon Przewód sygnałowy modułów I/O