HC-SFS152B MITSUBISHI serwomotor 1,5kW przekładnia
1029C Control Concepts Regulator mocy 415V 50A
DV 750-48 FG-Elektronik Zasilacz regulowany 0-10V 11-30V DC 15,7A tryb OVP
AKM22E-ANBNR-00 DANAHER MOTION serwomotor PLE60
CB-023N ITOH DENKI kontroler silnika
Kwarcowy wziernik próżniowy wizjer komory 46x16cm
C40HF-50PB-1 Samwon Przewód sygnałowy modułów I/O
6GT2600-1AD00-0AX0 Siemens 6GT2190-0AB0 Karta RFID
Próżniowy przepust elektryczny 6 torów ISO K DN100
H8259-02-VIS-SOPRA HAMAMATSU Licznik fotonów
Ciśnieniowa pompa mieszkowa z silnikiem krokowym
DL5E-1 Kromschroder 84444250 Presostat 1,2mbar
ZR115S2-K15LOZ-Q SMC eżektor generator podciśnień