PFM750S-C8L-B SMC miernik przepływu gazu 1-50l/min
FAG86J1254J Kondensator snubberowy 1,25uF 1300V
Silnik 12V przekładnia planetarna 152 obr.
Kwarcowy wziernik próżniowy wizjer komory 46x16cm
ER100-205 R ESTA Kondensator wysokiego napięcia 2uF 10kV
36442-6-002 HAYDON krokowy aktuator liniowy
Q64P MITSUBISHI zasilacz sterownika Melsec-Q 8,5A
PMR1-011627 AALBORG Rotametr gazowy z zaworem
34S502-0700-D05LD-AA Jenaer R055712946 REXROTH
MSM003-403 MSP101 ORIENTAL Motor silnik regulowany