PFM750S-C8L-B SMC miernik przepływu gazu 1-50l/min
ZR115S2-K15LOZ-Q SMC eżektor generator podciśnień
FAG86J1254J Kondensator snubberowy 1,25uF 1300V
TP-488Pt100 CZAKI Thermo Czujnik temperatury Pt100
Kondensator ceramiczny w.cz. 45,5pF 5kV typ 848
SEC-E80 Masowy kontroler przepływu MFC HORIBA STEC
RDM4010B1 X-Fan wentylator 12V 40x40x10mm
36442-6-002 HAYDON krokowy aktuator liniowy
Zasilacz wysokiego napięcia HV10-152M 1kV 1.5mA DC
Bezindukcyjne rezystory mocy HVRAPC U2630B471 2szt
